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手持式四探針測試儀硅材料電阻率測試儀

產品簡介

手持式四探針測試儀硅材料電阻率測試儀RTS-3型手持式四探針測試儀體積小，精度高，測量范圍寬，運用四探針原理能夠測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻。

產品型號：SN/RTS-3

更新時間：2024-10-20

廠商性質：生產廠家

訪問量：624

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產品分類

電力設備

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手持式四探針測試儀硅材料電阻率測試儀

型號：SN/RTS-3

RTS-3型手持式四探針測試儀體積小，精度高，測量范圍寬，運用四探針原理能夠測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻。

技術參數：

測量范圍	電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；方塊電阻：0.1～19999Ω/□；
恒流源	電流量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電流連續可調
數字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1%；顯示：以大屏幕LCD顯示讀數，直觀清晰；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應用參數	(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進行)	1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差	(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度	≤5%
外型尺寸	185mm(長)90mm(寬)30mm(高)
重量	350g
電源	鋰電池，一次充電可連續使用100小時；
標準使用環境	溫度：23±2℃；相對濕度：≤65%；無高頻干擾；無強光直射

適用場所：

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

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